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클린룸

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밀폐된 내부 공기중에서 부유 미립자가 제한된 청정수치 이하로 관리 되어야하며 기구나 재료, 각종 사용되어지는 부속물등의
온도, 습도, 압력등에 대해서도 청정관리가 되어야 합니다.
클린룸 목록

클린룸의 종류

1. ICR (Industrial Clean Room)
산업용 클린룸을 일컬으며, 미립자 제어 대상으로 청정도 외에 온도, 습도, 조도, 압력등 환경 조건과 반도체 제조, 전기전자, 항공, 정밀함이 요구되는 산업에 요구됩니다. 실내 부유 미립자가 정밀을 요하는 제품이나 부품등에 부착되어 불량품을 초래하므로 공장 전체 또는 주요한 작업이 이뤄지는 특수부분에 청정상태가 유지되어지는 공간의 클린룸입니다.

2. BCR (Biological Clean Room)
제약공업이나 기초연구를 행하는 연구소, 병원의 수술실/처치실, 식생활의 식육가공, 제빵 제조등은 의약품의 제조 및 품질관리에 관한 규정에 따라야 합니다. 의약품의 개발에는 GMP(Good Manufacturing Practice) 이러한 개념의 요건을 충족해야하므로 BCR의 시설이 절대적입니다.

클린룸의 규격

클린품의 규격은 KS. JIS 규격이 있으며, ICR에는 미국연방 규격(U.S.Fed.Std.209D)과 BCR에는 미국항공 우주국 규격(NASA-NHB 5340-2)이 사용되고 있습니다.
1. Fed.Std.209D의 개요
Class 0.1㎛ 0.2㎛ 0.3㎛ 0.5㎛ 5㎛
Miter 영국단위 ft³ ft³ ft³ ft³ ft³
M1 - 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283    
M1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00    
M2 - 3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83    
M2.5 10 12,400 350 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0    
M3 - 35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3    
M3.5 100     26,500 750 10,600 300 3,530 100    
M4 -     75,700 2,140 30,900 875 10,000 283    
M4.5 1,000             35,300 1,000 247 7.00
M5 -             100,000 2,830 618 17.5
M5.5 10,000             353,000 10,000 2,470 70.0
M6 -             1,000,000 28,300 6,180 175
M6.5 100,000             3,530,000 100,000 24,700 700
M7 -             10,000,000 283,000 61,800 1,750

2. NASA NHB 5340.2의 개요
바이오클린룸
Class
미립자 세균
입경(㎛) 누적입자수
개/ft³ (개/l)
부유량
개/ft³ (개/l)
침강량
개/ft³
100 ≥ 0.5 ≤100 (≤3.5) ≤700(≤25) 1,200(12,900)
10,000 ≥ 0.5 ≤10,000(≤350) ≤0.5(9.9176) 6,000(64,600)
≥ 0.5 ≤65(≤2.3)
100,000 ≥ 0.5 ≤100,000(≤3,500) ≤2.5(0.0884) 30,000(323,000)
≥ 5.0 ≤700(≤25)

클린룸 기류방식

실내 환경기류가 천정면에 배치되어 있고 HEPA Filter 및 ULPA Filter가 청정공기를 흡출한다. 실내공기의 배기와 실외공기의 공급기를 효율적으로 유지시켜 주며 실내청정도는 Class 1~100,000 가능하다. 조명과 작업 목적에 따라 각 형식을 채택하여 실내의 항온항습사양, 암실사양, 약품제조, 반도체사업, 전자부품, 광학산업, 항공산업등 작업 목적에 따라 효율적인 설계에 의해 시공을 합니다.
* 기류방식과 장점
  수직층류방식 수평층류방식 난류방식 혼류방식 터널방식
청정도 M1.5~3.5
(Class 1~100)
M1.5~3.5
(Class 1~100)
M4.5~6.5
(Class 1,000~100,000)
M4.5~6.5
(Class 1,000~100,000)
M1.5~3.5
가동시청정도 작업자의 영향
작음
상류의 발진이
하류에 영향
작업자의 영향
없음
레이아웃에 따라
작업자 영향약간
작업자의 영향
적다
운전비
Layout 변경 용이 부적합 용이 용이 부적합
제조장치보수 Room,Return
space부터 시행
Room,Return
space부터 시행
Room부터 시행 Room,Return
space부터 시행
Room부터 시행
확장성 부적합 부적합 부적합 부적합 라인마다 증설
정밀제어 실전체 제어로
실내불균형 약간
상류의 발진이
하류에 영향
불균형 있음 불균형 있음 작업부마다
고정밀도 제어

클린룸 유지의 원칙

① 미립자의 침입을 원천적으로 방지합니다.
② 미립자의 발생을 방지합니다.
③ 발생된 미립자를 완전 제거합니다.
④ 미립자의 누적됨을 제거합니다.
⑤ 클린룸의 필요한 온도, 습도 및 실내압을 유지합니다.

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